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Régénération des
pompes cryogéniques
La pompe à vide d'une pompe cryogénique doit également être capable de gérer les volumes de gaz générés lors de la régénération sans introduire d'impuretés dans le système de vide.
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Pompes à vide primaire pour les pompes cryogéniques
Vide primaire et régénération
Pendant la régénération de la pompe cryogénique, la vanne de la chambre UHV est fermée et la pompe est réchauffée à la température ambiante. Les molécules précédemment liées se désorbent à nouveau et retournent à la phase gazeuse. La pompe à vide primaire doit alors pomper les gaz libérés et abaisser le vide aussi bas que possible afin que la pompe cryogénique puisse être refroidie à nouveau.
Le vide limite et le débit maximal de la pompe à vide primaire doivent donc être conçus à la fois pour la production du vide primaire et pour la régénération de la pompe cryogénique.