Revêtement
Un vide propre est important dans les processus de revêtement afin d'éviter toute contamination indésirable. Nos pompes à vide sans huile sont idéales pour la plage allant jusqu'à 10-3 mbar.
Vide pour les processus de revêtement
Un vide propre pour des revêtements de haute qualité
Le vide est nécessaire pour divers procédés de revêtement tels que le dépôt en phase vapeur par procédé physique (PVD) ou le dépôt en phase vapeur par procédé chimique (CVD). Le vide nécessaire au processus va de la plage de vide faible (atmosphère à 1 mbar) à la plage de vide élevé (10-3 à 10-7 mbar).
Un vide propre est très important pour les processus de revêtement afin d'éviter la contamination des revêtements. Il est donc préférable d'utiliser des pompes sans huile afin d'éviter les effets néfastes des vapeurs d'huile. Il est également important de veiller à ce que la pompe ne génère pas de débris d'abrasion qui pénètrent dans le système de vide.
Si des milieux corrosifs sont utilisés, la pompe doit également être résistante aux produits chimiques.
Pour la plage de pression allant jusqu'à 1 mbar, les pompes à membrane répondent parfaitement à toutes ces exigences. Pour la plage de pression allant jusqu'à 10-3 mbar, la pompe à vis est le meilleur choix.
Les deux types de pompes sont également idéaux comme pompes à vide pour les systèmes HV et UHV.