Regeneration von Kryopumpen
Die Vorvakuumpumpe einer Kryopumpe sollte auch die bei der Regeneration anfallenden Gasmengen bewältigen können, ohne dass dabei Verunreinigungen ins Vakuumsystem eingebracht werden. Deshalb sollte die Vakuumpumpe öl- und abriebfrei sein.
Vorvakuumpumpen für Kryopumpen
Vorvakuum und Regeneration
Bei der Regeneration der Kryopumpe wird das Ventil zur UHV-Kammer geschlossen und die Pumpe auf Umgebungstemperatur aufgewärmt. Die zuvor gebundenen Moleküle desorbieren wieder und gehen wieder in die Gasphase über. Die Vorpumpe muss nun die freiwerdenden Gase abpumpen und anschließend das Vakuum so tief wie möglich absenken, so dass die Kryopumpe wieder eingekühlt werden kann.
Das Endvakuum und Saugvermögen der Vorpumpe muss also sowohl für die Vorvakuumerzeugung als auch für die Regeneration der Kryopumpen ausgelegt sein.