Beschichtung
Bei Beschichtungsverfahren ist sauberes Vakuum wichtig, um ungewünschte Verunreinigungen zu vermeiden. Unsere ölfreien Vakuumpumpen eignen sich bestens für den Bereich bis 10-3 mbar und als Vorvakuumpumpe für Turbomolekularpumpen.
Vakuum für Beschichtungsprozesse
Sauberes Vakuum für hochwertige Beschichtungen
Vakuum wird für verschiedene Beschichtungsverfahren wie beispielsweise PVD oder CVD benötigt. Das benötigte Prozessvakuum reicht dabei vom Grobvakuumbereich (Atmosphäre bis 1 mbar) bis hin zum Hochvakuumbereich (10-3 bis 10-7 mbar).
Sauberes Vakuum ist für Beschichtungsprozesse sehr wichtig, um Verunreinigungen der Beschichtungen zu vermeiden. Grundsätzlich sind daher ölfreie Pumpentypen zu bevorzugen, um Beeinträchtigungen durch Öldämpfe zu vermeiden. Außerdem ist darauf zu achten, dass durch die Pumpe kein Abrieb entsteht, der in das Vakuumsystem gelangt.
Werden korrosive Medien eingesetzt, sollte die Pumpe außerdem chemiebeständig sein.
Für den Druckbereich bis 1 mbar erfüllen Membranpumpen all diese Anforderungen hervorragend. Für den Druckbereich bis 10-3 mbar ist die Schraubenpumpe die beste Wahl.
Beide Pumpentypen eignen sich auch hervorragend als Vorvakuumpumpen für HV- und UHV-Systeme.